機型：多段式送排風機
風量：800 m3/min
壓力：2400 mmAq
馬力：750 HP
機型：多段式送排風機
風量：600 m3/min
壓力：3600 mmAq
馬力：900 HP
機型：送排風機
風量：1500 m3/min
壓力：820 mmAq
馬力：375 HP
機型：液封式真空幫浦+板式熱交換器+循環水桶
最終壓力：25 Torr
機型：多段式送排風機
風量：90 m3/min
壓力：5300 mmAq
馬力：200 HP
機型：雙吸式送排風機
風量：6000 m3/min
壓力：250 mmAq
馬力：550 HP
機型：魯氏鼓風機(RS-300)
風量：110 m3/min
壓力：5000 mmAq
馬力：175 HP
機型：液封式真空幫浦
最終壓力：25 Torr
機型：多段式送排風機
風量：400 m3/min
壓力：2800 mmAq
馬力：450 HP
機型：送排風機
風量：1261 m3/min
壓力：-170 mmAq
馬力：150 HP
機型：送排風機
風量：3600 m3/min
壓力：-200 mmAq
馬力：375 HP
機型：送排風機
風量：1200 m3/min
壓力：1100 mmAq
馬力：500 HP
機型：多段式送排風機
風量：480 m3/min
壓力：2800 mmAq
馬力：550 HP
機型：送排風機
風量：1475 m3/min
壓力：690 mmAq
馬力：400 HP
機型：送排風機
風量：600N m3/min
壓力：-430/+330 mmAq
馬力：200 HP
機型：魯氏鼓風機(RS-300)
風量：90 m3/min
壓力：6500 mmAq
馬力：250 HP
機型：魯氏鼓風機(RS-350)
風量：186N m3/min
壓力：1300 mmAq
馬力：150 HP
機型：魯氏鼓風機(RS-250)
風量：67 m3/min
壓力：10200 mmAq
馬力：250 HP
機型：魯氏鼓風機(RS-250)
風量：73 m3/min
壓力：3324 mmAq
馬力：100 HP
機型：兩段式魯氏鼓風機
風量：27N m3/min
壓力：20000 mmAq
馬力：100 HP
機型：兩段式魯氏鼓風機
風量：10 m3/min
壓力：15000 mmAq
馬力：20 HP
機型：真空排氣系統
理論排氣速度：3500 m3/hr
最終壓力：0.04 Torr
機型：真空排氣系統
理論排氣速度：2500 m3/hr
最終壓力：0.0075 Torr
機型：真空排氣系統
理論排氣速度：3600 m3/hr
最終壓力：110 Torr