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低真空

Rough Vacuum

中真空

Medium Vacuum

中高真空

Medium-High Vacuum

高真空

High Vacuum

超高真空

Ultra-High Vacuum

壓力範圍

Torr Pressure Range

760~100 100~1 1~10-3 10-3~10-7 10-7

平均自由行徑

Mean Free Path cm at 20

 510-6        ~510-5   510-5      ~510-3 510-3~5 5~5104 5104

氣體分子數

Number of   Molecules      cm3 at 20

2.51019    ~3.31018 3.31018 ~3.31016 3.31016    ~3.31013 3.31013  ~3.3109 3.3109