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  • 氣流通量公式  Mass Flow

Q=PS  Q=C/P

Q:氣流通量

P:壓力差

s:排氣速度

C:總氣導

C1,2,3:各管路的氣導

SP:真空幫浦排氣速度

 

Throughput

Pressure difference

Pumping speed

Total conductance

Conductance of different pipe sizes

Pumping speed of pump

 

  • 串聯管路氣導公式

Conductance in series

  • 並聯管路氣導公式

Conductance in parallel

  • 真空系統中的排氣速度

Pumping speed of pump

  • 抽氣時間  Pump down time

V:體積

P1:最初壓力

P2:最終壓力

Volume

Initial pressure

Final pressure

適用壓力 pressure (Torr)

K:修正因數

Correction factor

760~100

1

 

 

 

 

 

100~10

1.25

10~1

1.5

1~0.1

2

0.1~0.01

4