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  1. 單段式

    排氣速度:0.6 60 m3/min

    最終壓力:760 60 Torr

  2. 兩段式

    排氣速度:0.52 62 m3/min

    最終壓力:760 25 Torr

  3. 兩段式串聯大氣助力器

    排氣速度:0.52 62 m3/min

    最終壓力:760 3 Torr

液封式真空幫浦是一種無脈動式的真空幫浦,它是以水環當作活塞,將氣體吸入再壓縮排出。

幫浦葉輪的中心與汽缸的中心特別設計為偏心配置,當葉輪轉動時,封液會在汽缸內形成一水環;由於偏心的緣故,葉輪的葉片插入水環的深度會改變,使得水環如同活塞般在兩葉片間上下動作,因此從入口吸入的氣體會逐漸被壓縮至出口排出於大氣,達到抽取真空的目的。整個的抽氣、壓縮、排氣的動作均無閥門控制,同時也沒有金屬的相互摩擦,完全靠水環與葉輪的相對運動來完成。

  1. 液封式真空幫浦容許被抽取的氣體中含有大量的可凝結性氣體及相當程度的液渣,而不致損壞幫浦。

  2. 當抽取可凝結性氣體時,封液本身相當於一個直接接觸式的冷凝器,會加大對可凝結性氣體的排氣量。

  3. 壓縮過程中,壓縮產生的熱量絕大部份被封液吸收,趨近於等溫壓縮,故出口排氣溫度低。

  4. 選用適當的材質及改用適當的液體來代替水為封液,不僅可回收被抽出的氣體,也可解決幫浦腐蝕的問題。

  5. 入口加裝大氣助力器,可延伸壓力使用範圍;如串聯機械式真空助力幫浦,則可延伸壓力使用範圍並加大排氣能力。

  6. 在許多的真空製程中,液封式的購入成本及運轉費用低於其它型式的真空幫浦。

  7. 無脈動,振動小,噪音低,安裝保養容易。

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大氣助力器是空氣噴射器的一種,其原理是利用大氣中的空氣作為驅動流體,藉經過噴嘴及擴散管而產生的超音速氣流,將所需抽取的氣體帶入液封式真空幫浦後再排出大氣中。兩段式液封式真空幫浦串聯大氣助力器時,最終壓力可達 3 Torr。