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排氣速度:250 4,500 m3/h

出入口容許壓力差:100 35 Torr

機械式真空助力幫浦係由魯氏Roots)鼓風機發展而來,是一種容積形真空幫浦。在汽缸內有兩個8 字型的轉子由外部的兩個同步齒輪帶動,以相反方向轉動,達成排氣的動作,齒輪和軸承係以潤滑油來潤滑,由於油箱與汽缸內部隔絕,因此不會污染轉子,可保持內部乾淨。運轉時,轉子與轉子、轉子與汽缸間維持著極小的間隙(大約在十分之幾毫米),以高速運轉而彼此互不摩擦,造成出入口間的壓力差,因此在中高真空範圍下能有特優的排氣速度。機械式真空助力幫浦的容積效率隨著輔助幫浦的排氣速度大小而變化,一般兩者間的排氣速度比大約在5~10之間,視使用的場合以及壓力來決定。

  1. 特佳的容積效率。

  2. 寬廣的使用範圍,高排氣速度。

  3. 運轉平穩,噪音極低。

  4. 運轉費用低。

  5. 潤滑油不會污染轉子和汽缸內部。

  6. 運轉可靠,維護簡單。

  7. 不受氣體、水氣及粉末影響。

  8. 因屬氣冷式,不需冷卻水。

  9. 臨界背壓高,可提早起動,縮短排氣時間。

  10. 配合壓力控制開關,可自動操作。

  11. 軸承及齒輪均使用潤滑油潤滑。

機械式真空助力幫浦在真空下,有相當廣的壓力使用範圍,一般而言,大致從10-3∼40 Torr之間,如與油迴轉真空幫浦組配成真空排氣系統,可在中高真空下得到大量之排氣速度。當被抽氣體中含有大量的水氣或其它可凝結性氣體時,可選擇液封式真空幫浦作為輔助幫浦,如此在低壓下仍可維持高的排氣速度,可節省馬力,同時又不會因有水份或其它凝結性氣體而損及幫浦。

機械式真空助力幫浦的設計著眼於中高真空的排氣,且出入口壓力差值有一定的限制範圍,所以排氣系統的運轉須先起動輔助幫浦至某一真空度再起動機械式真空助力幫浦,並且排氣系統中不允許有突然的大量氣體產生或流入,以免造成流量過大或壓力急遽升高而使馬達超過負荷。保護措施有加裝真空開關、釋壓閥等,但使用流體聯軸器時,可提前起動機械式真空助力幫浦。