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排氣速度:1,500 7,500 l/min

最終壓力:10-3 Torr

一般的葉片式油迴轉真空幫浦因葉片受離心力引起的磨損限制,所以其排氣速度大多限制在1,200 l/min以下,需要較大排氡速度時,則採用金尼式(Kinney Type)油迴轉真空幫浦,因其構造不同,以同尺寸的機型而言,可以獲得較大的排氣速度,磨損亦少,一般金尼式油迴轉真空幫浦的設計排氣速度大多在1,500 ∼7,500 l/min,單段式的最終壓力可達10-3Torr左右,其使用壓力範圍則在40∼0.01 Torr之間,如加裝氣體壓載閥,可處理一定量的水氣或其它凝結性氣體,而其最終壓力在0.1 Torr左右,若使壓力在1∼0.02 Torr之間,且需要更大之排氣速度者,可串聯機械式真空助力幫浦,如此不但在中高真空範圍具有大排氣速度且馬力亦可節省(可參考MBK系列)。

  1. 油旋轉式,偏心轉子

  2. 排氣量大,中高真空用

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